气相分子吸收光谱法是20世纪70年代兴起的一种简便、快速的分析手段。1976年 Toyin A. Arowolo、Malcolm S. Cresser 等人首先提出该法（Gas-Phase Molecular Absorption Spectrometry，简称GPMAS），Syty最先应用该法测定了SO2，并设计了吹气反应装置。此后分析家们成功地测定了腐蚀性、挥发性的气体，如I2和Br2、H2S、NOCL、HCN、NO2和NO，Rechikov等人测定了用于半导体工艺的惰性气体混合的氢化物气体中的B、N、P、As、Sb、Si、Ge、Sn的氢化物。